Hmotnostní termální průtokoměry TMF - GF135

135
  • GF135 Rozšířená diagnostika hmotnostního průtokoměru - PTI Metal Seal Controller
  • Navržen jako další krok v polovodičových technologiích tenkých vrstev a aplikacích regulace plynů.
  • G 135 kombinuje všechny výhody poskytované hmotnostním průtokoměrem přechodně necitlivým na změnu tlaku (min.D P) s detekcí chyby reálného průtoku v časovém úseku a jeho diagnostikou.
  • Určeno pro: N2, O2, Ar, H2, SF6, NH3, CO2, Cl2, HBr, NF3, CF4, CH4, CH3F, CH2F2, SiCl4 (@ 100 Torr),C4F6-q (@ 800 Torr), C4F8 (@ 1200 Torr), N2O, CHF3, SiH2Cl2, C5F8, He
  • vysoká přesnost +-1% (35-100% FS)
  • Rozsah přístroje: 3 sccm až 5 slpm N2 ekviv., maximální tlak: 6 bar g
  • Přesnost: +- 1%S.P.(10-100% FS), napájení: +-15V dc, +-24V dc, 11-25 Vdc,I/O vstup /výstup: 0-5V dc/RS 485/ DeviceNet
  • Katalogový list -  pdfDS TMF GF135 MFC

pemit cz midddle