Hmotnostní termální průtokoměry TMF - GF100

100
  • GF100 jsou navrženy pro polovodičová odvětví, MOCVD technologie - pro výzkum, vývoj a výrobu sloučenin polovodičů a další aplikace regulace plynu, které vyžadují vysokou čistotu.
  • Provedení přístrojů je celokovové včetně těsnících částí. Řada GF přináší vynikající výkon, spolehlivost, flexibilitu.
  • Byla testována na více než trojnásobek standardní spolehlivosti v polovodičovém průmyslu, opakovaně při nízké nestabilitě v časové úseku.
  • vysoce rychlé nastavení 300 milsec.
  • vysoká přesnost +-1% (35-100% FS),
  • nový vysoce rozsahový typ přístroje až do 300 slpm N2 ekviv.
  • aplikace regulace průtoku čistých plynů
  • multifunkční konfigurace plynů a jejich rozsahů
  • korozivzdorný trubičkový senzor a clona ventilu z materiálu Hastelloy.
  • napájení: +-15V dc, +-24V dc, 11-25 Vdc, I/O vstup /výstup: 0-5V dc/RS 485/ DeviceNet
  • Katalogové listy –  pdfDS TMF GF100 Series MFC –  pdfDS TMF GF121 Series MFC – pdfGF100 Series EtherCAT Flyer 

pemit cz midddle